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[发明专利]用于蒸发器装置的可蒸发材料插件-CN202080056415.4在审
发明人： I·加西亚-多缇 -专利权人：尤尔实验室有限公司
申请日： 2020-08-07 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： A24F40/46 文献下载
摘要：描述了一种蒸发装置(100)，该蒸发装置包括蒸发器本体(110)，该蒸发器本体包括可蒸发材料插件容器(118)，该可蒸发材料插件容器构造成接收包括可蒸发材料的可蒸发材料插件(120、220、320、420)，该可蒸发材料插件可包括可蒸发材料部件(222)，该可蒸发材料部件包括可蒸发材料，例如非液态可蒸发材料。描述了可蒸发材料部件的各种实施例，其包括用于防止气流进入和/或通过可蒸发材料部件以及用于实现可蒸发材料的高效且有效的加热和形成可吸入气溶胶的一个或多个特征。还描述了相关的系统、方法和制品。
用于蒸发器装置蒸发材料插件

[发明专利]蒸发材料及蒸发材料的制造方法-CN200980140043.7有效
发明人：永田浩;新垣良宪;广濑洋一;宫城匡利 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-10-06 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：提供一种廉价的、可制成薄板状的蒸发材料，能高效地用于在真空或减压惰性气体气氛中通过边蒸发Dy边进行热处理来提高钕铁硼系烧结磁铁的矫顽力。本发明的蒸发材料1包括具有多个透孔的耐火金属材质的芯材1a，将稀土类金属或稀土类金属的合金熔解，使其附着并凝固在芯材1a上，此情况下，通过将前述芯材浸入该稀土类金属或稀土类金属的合金的熔融液并提起来进行前述附着
蒸发材料制造方法

[发明专利]用于蒸发材料的蒸发设备及使用蒸发设备蒸发材料的方法-CN201880099225.3在审
发明人：迈克尔·龙 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-12-04 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本文描述的实施方式有关于一种用于蒸发材料的蒸发设备(100)。蒸发设备包括用于材料的容器(105)以及加热组件(110)，加热组件包括至少部分地设置在容器周围的外部加热单元(115)以及位于容器内的网状结构(120)。外部加热单元用于在容器内提供温度梯度。
用于蒸发材料设备使用方法

[实用新型]用于真空镀膜设备的异向蒸发装置-CN202022909807.0有效
发明人：朱建明 -专利权人：肇庆市科润真空设备有限公司
申请日： 2020-12-07 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于真空镀膜设备的异向蒸发装置，包括蒸发源和蒸发材料导流器，蒸发源上设有镀膜材料放置槽，镀膜材料放置槽上部设有开口，蒸发材料导流器中设有导流通道，导流通道的一端与镀膜材料放置槽的开口连通其方法是通过在蒸发源与工件之间设置蒸发材料导流器，蒸发源内的镀膜材料加热蒸发后，产生的镀膜材料蒸汽通过蒸发材料导流器进行导向，根据工件的待镀膜面所处位置改变蒸发方向，从而适应工件的多种不同输送方式。本实用新型可实现从多种不同方向对工件进行蒸发镀膜，适应工件的不同输送方式，提高生产效率。
用于真空镀膜设备蒸发装置

[实用新型]一种有机材料蒸发用坩埚及蒸镀装置-CN201620285865.1有效
发明人：焦志强;孙力;尤娟娟;闫光 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-04-07 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及蒸镀技术领域，公开一种有机材料蒸发用坩埚及一种蒸镀装置，其中，有机材料蒸发用坩埚包括本体结构，本体结构内部形成用于盛放蒸镀材料的蒸发空间；本体结构的内表面包括用于围成蒸发空间的底面和侧面，上述有机材料蒸发用坩埚，其蒸发空间的底部通过呈圆弧面的底面围成，在进行有机材料蒸镀的过程中，随着蒸发空间内有机材料的较少，蒸发空间内剩余的有机材料在蒸发空间底部相对于底面的分布几乎没有变化，即剩余有机材料的分布可以一直保持与热量的分布相匹配，因此，随着蒸发空间内有机材料的减少，剩余的有机材料的受热仍然会较均匀。因此，上述有机材料蒸发用坩埚可以避免有机材料在蒸镀过程中变性。
一种有机材料蒸发坩埚装置

[发明专利]制备多层金属镀层复合膜的装置及其制造工艺-CN03108042.1无效
发明人：王勇;韩秀铃;王新;王鹏 -专利权人：彩虹彩色显像管总厂;彩虹显示器件股份有限公司
申请日： 2003-05-19 - 公布日： 2004-02-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种多层金属镀层复合膜的装置及制造工艺，包括电源，真空蒸发室，真空蒸发室内置有金属材料，真空蒸发室内同时设有至少有两个或两个以上蒸发源，在各自的蒸发源中放置不同的蒸发材料，按蒸发时序进行蒸发。其工艺流程为：a、用真空泵对真空蒸发室进行抽真空；b、对真空蒸发室内的蒸发源通电、并低温预热蒸发材料；c、将低温预热好的蒸发材料用高温使蒸发材料蒸发进行镀膜；d、第一材料蒸发形成第一层镀膜，第二层材料再蒸发叠加于第一层膜之上，以后各膜蒸发材料依次类推，便形成多层金属镀层复合膜。
制备多层金属镀层复合装置及其制造工艺

[发明专利]用于涂覆眼镜片的气相沉积方法、物理气相沉积系统及用于物理气相沉积的坩埚-CN202280006994.0在审
发明人： A·劳卡特 -专利权人：卡尔蔡司光学国际有限公司
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：呈现了一种用于物理气相沉积的方法，该方法包括：提供包含第一蒸发材料(41)和第二蒸发材料(42)的坩埚，其中该第一蒸发材料具有第一蒸气压并且该第二蒸发材料具有不同于该第一蒸气压的第二蒸气压，其中适配所述坩埚中的该第一蒸发材料的暴露表面和该第二蒸发材料的暴露表面的比率来抵消该第一蒸发材料与该第二蒸发材料之间的蒸气压差；以及从该同一坩埚中同时蒸发该第一蒸发材料和该第二蒸发材料。
用于眼镜片沉积方法物理系统坩埚

[发明专利]用于真空镀膜设备的异向蒸发装置及方法-CN202011417374.5在审
发明人：朱建明 -专利权人：肇庆市科润真空设备有限公司
申请日： 2020-12-07 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明公开一种用于真空镀膜设备的异向蒸发装置及方法，其装置包括蒸发源和蒸发材料导流器，蒸发源上设有带开口的镀膜材料放置槽蒸发材料导流器中设有导流通道，导流通道的一端与镀膜材料放置槽的开口连通，导流通道的另一端开放并朝向工件的待镀膜面其方法是通过在蒸发源与工件之间设置蒸发材料导流器，蒸发源内的镀膜材料加热蒸发后，产生的镀膜材料蒸汽通过蒸发材料导流器进行导向，根据工件的待镀膜面所处位置改变蒸发方向，从而适应工件的多种不同输送方式。本发明可实现从多种不同方向对工件进行蒸发镀膜，适应工件的不同输送方式，提高生产效率。
用于真空镀膜设备蒸发装置方法

[发明专利]蒸发源结构及蒸发式PECVD设备-CN202110906533.6在审
发明人：张运祥;张勤芳;王仲杰;陈霄;侯海军;戴海璐;刘超 -专利权人：盐城工学院
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明提供了一种蒸发源结构及蒸发式PECVD设备，其中，该蒸发源结构包括：蒸发源底托，用于支撑蒸发源结构；蒸发部分，设置于蒸发源底托上，用于将镀膜材料蒸发成气态；裂解部分，设置于蒸发部分上，与蒸发部分相连通，用于将蒸发部分中蒸发成气态的大分子形态镀膜材料裂解成小分子或原子形态镀膜材料；差分输运部分，设置于裂解部分的侧面，用于输运载气，并利用载气选择性输运气态的镀膜材料。
蒸发结构 pecvd 设备

[发明专利]沉积装置-CN200610128180.7有效
发明人：荒井康行;山崎舜平 -专利权人：株式会社半导体能源研究所
申请日： 2006-09-06 - 公布日： 2007-03-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种沉积装置，该沉积装置设置有与在其上沉积薄膜的衬底相对的并能够根据衬底表面而移动的蒸发源，还设置有用于将蒸发材料供给至蒸发源的工具(蒸发材料供给工具)。由移动工具支持蒸发源，该移动工具能够扫描其上沉积薄膜的衬底表面。该蒸发材料供给工具使用下述方法：通过气流供给蒸发材料粉末的方法、将蒸发材料溶解或分散在溶剂中并雾化该材料液体而进行供给的方法、或者以棒状、线状、粉末状以及通过机械机构附着到柔性薄膜的状态供给蒸发材料的方法
沉积装置

[发明专利]沉积装置-CN201110102107.3无效
发明人：荒井康行;山崎舜平 -专利权人：株式会社半导体能源研究所
申请日： 2006-09-06 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种沉积装置，该沉积装置设置有与在其上沉积薄膜的衬底相对的并能够根据衬底表面而移动的蒸发源，还设置有用于将蒸发材料供给至蒸发源的工具(蒸发材料供给工具)。由移动工具支持蒸发源，该移动工具能够扫描其上沉积薄膜的衬底表面。该蒸发材料供给工具使用下述方法：通过气流供给蒸发材料粉末的方法、将蒸发材料溶解或分散在溶剂中并雾化该材料液体而进行供给的方法、或者以棒状、线状、粉末状以及通过机械机构附着到柔性薄膜的状态供给蒸发材料的方法
沉积装置

[发明专利]金属蒸发材料-CN201780027018.2有效
发明人：仓内利春 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2017-05-12 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：提供能够在不降低薄膜的纯度的情况下防止飞溅物产生的金属蒸发材料。金属蒸发材料，其具有以金属作为母材的金属材料、和添加金属，添加金属具有在700℃以上的温度下蒸气压低于相同温度的母材的蒸气压的1/10000的金属低蒸气压性、和与由高熔点金属容器释放的气体反应而生成反应产物的反应性金属蒸发材料中含有的气体与添加金属反应而被去除，因此防止了突沸，金属蒸发材料蒸气中的添加金属的蒸气与反应产物的蒸气的含量低于1/10000，因此通过蒸镀而形成的薄膜的纯度不会降低。
金属蒸发材料

[发明专利]蒸发装置、蒸镀装置以及蒸镀装置中的蒸发装置的切换方法-CN200580014651.5有效
发明人：松本祐司;前羽良保;铃木和人;井上铁也;大工博之 -专利权人：日立造船株式会社
申请日： 2005-06-15 - 公布日： 2007-04-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种在规定的真空度下使规定的材料蒸发的蒸发装置(4)，包括：连接到真空泵(12)上，同时，在上壁部(11c)上设置能够放出蒸发的蒸发材料(B)的材料放出孔的蒸发用容器(11)；借助升降用气缸装置(13)可以在该蒸发容器(11)内自由升降地设置、同时能够载置容纳蒸镀材料(A)的材料容纳容器(14)的载置台(15)；在上述蒸发用容器(14)的材料放出孔(17)的周围，设置筒状的间隔壁构件(19)，所述间隔壁构件(19)，通过上述材料容纳容器(14)经由载置台(15)上升时覆盖其外周，抑制蒸发材料向所述蒸发用容器(11)内放出，并且，在上述载置台(15)及间隔壁构件(16)上，具有加热上述材料容纳容器(14)的加热装置
蒸发装置以及中的切换方法

[发明专利]一种太阳能水蒸发材料-CN202110365542.9有效
发明人：曲良体;姚厚泽;程虎虎 -专利权人：清华大学
申请日： 2021-04-06 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C02F1/14 文献下载
摘要：本发明属于能量转换材料技术领域，具体的，涉及一种太阳能水蒸发材料。本发明的太阳能水蒸发材料，包括了三层结构：光热转换层、传热层和水蒸发层，其中的光热转换层具有较好的光热转换能力，与传热层界面结合稳定，具有较低的热阻，其中的传热层为高导热材料形成的多孔骨架，蒸发层直接生长在传热骨架上本发明水蒸发材料的制备方法操作简单、方便，易于实现，并且能够获得比表面积较大、水蒸发速率较高的水蒸发材料，因此有利于大规模生产。本发明的太阳能水蒸发材料，是一种具有光热‑水蒸发界面分离的光热水蒸发材料，具有广泛的应用前景，例如海水淡化设备、相变产水装置等等，可以快速实现海水蒸发，且操作简单方便，易于实现。
一种太阳能蒸发材料

[实用新型]一种加速水分蒸发的装置-CN202020369354.4有效
发明人：朱嘉;庄申栋;陈传露;朱吉慧 -专利权人：南京宁智高新材料研究院有限公司
申请日： 2020-03-20 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： C02F1/14 文献下载
摘要：一种加速水分蒸发的装置，包括蒸发件和蒸发池；蒸发件设有多个，并漂浮在蒸发池内的液面上；蒸发池上方设有照射向蒸发池内部的阳光；蒸发池上方设有沿水平方向流动的空气流；蒸发件为球状或圆柱状；蒸发件包括芯体、吸水材料层和亲水性光吸收材料层；供水层包裹设置在芯体的外周；亲水性光吸收材料层包裹设置在芯体吸水材料层的外周。本实用新型，实现水分的快速蒸发，提高水分蒸发效率。
一种加速水分蒸发装置

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